股票代码:301095
WAT 测试设备
大幅提升WAT测试效率

WAT Tester简介

在集成电路制造过程中,通过WAT测试 (晶圆允收测试)提取工艺和器件性能的信息用于指导芯片产品的过程研发和生产控制。随着制造工艺越来越复杂,WAT测试也变得越来越重要。
为了满足新工艺对高效率电性测试的需求,草莓黄瓜绿巨人丝瓜向日葵电子自主研发了WAT测试设备。在满足量产精度要求的基础上,草莓黄瓜绿巨人丝瓜向日葵WAT设备throughput是现有方案效率的1.4X-5X。
草莓黄瓜绿巨人丝瓜向日葵WAT设备已经应用于多家领先的晶圆厂的量产产线和研发实验室。

技术优势

设备测试性能
电流测试精度:皮安(pA)以下
电压测试精度:微伏(μV)
电容测试精度:0.01皮法(pF)以下
高效的生产能力(throughput): 1.4X-5X
测试软件
Algorithm builder: 基于TCL语言的算法编辑
Test Plan Editor: 根据测试需求,简便地做出test plan
Framework: 强大的测试结果预警和处理机制
工厂自动化
支持与各类prober集成
实现EAP GEM 300标准自动化测试流程
支持E5 E30 E37 E39 E40 E87 E90 E94 E84 等协议
主要特点
  • 为客户在程序控制过程中提供准确且高度自动化的测试草莓视频在线无限看方案
  • 提供两种操作方式:在线测试、离线测试
  • 根据前期测试结果能够让工程师灵活地改变测试计划的细节
  • 方便地控制晶圆探针台并制定测试框架的执行流程
  • 涵盖所有WAT测量项目:MOSFETs (Id, Vt, Ioff…), BJT, diode (breakdown), resistors, capacitors, etc.
  • 自主研发高性能硬件配置方案和电路结构设计,快速的并行测试技术平衡优化了测试速度及精度,连续采样率高达600k/秒

基本配置

  • T4000系列

    通用型WAT测试设备
    使用于大部份WAT电性测试场景

  • T4100S系列

    并行测试设备
    大幅提升测试效率
    可满足先进工艺中繁杂多样的测试要求

Tester T4000系列 T4100S系列
#of PINs 24 to 28 22to 28
#of SMUs 6 to 12 (shared SMU) 22 to 48 (per pin)
#of LCR 1 1 to 2
#of PGU 2 2
Parallel testing support Yes Yes
Throughput(WPH) ~1.3x-2x ~1.5x-5x